第一代三維掃描儀：點測量
代表系統有：三坐標測量儀；點激光測量儀；關節臂掃描儀但精度不高通過每一次的測量點反映物體表面特征，優點是精度高，但速度慢，如果要做逆向工程，只能在測量較規則物體上有優勢。
定義：適合做物體表面誤差檢測用。

三維掃描儀

第二代三維掃描儀：線測量
代表系統有：三維臺式激光掃描儀，三維手持式激光掃描儀，關節臂＋激光掃描頭。通過一段有效的激光線照射物體表面，再通過傳感器得到物體表面數據信息。
定義：適合掃描中小件物體，掃描景深小，精度較低，此代系統是發展比較成熟的,受產品原理影響目前已經是過渡性產品。

第三代三維掃描儀：面掃描
代表系統：拍照式三維掃描儀或者叫結構光、光柵式抄數機，三維攝影測量系統等。通過一組或一面光光柵的位移，再同時經過傳感器而采集到物體表面的數據信息。
定義：適合大中小物體的掃描，精度較高，掃描速度極快，單面可掃描400×300mm 面積，時間≤5秒，測量景深很大，一般為300-500mm，甚至更大。