霍梅爾輪廓測量儀常見故障及解決方法：

1、直讀光譜儀排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。

處理辦法：更換排氣管，要更換透明的塑料管，并定期對排氣管路進行吹掃。

2、直讀光譜儀溫度偏高故障

處理辦法：檢查儀器后蓋風扇是否轉動，轉動是否靈活。

霍梅爾輪廓測量儀

3、直讀光譜儀真空泵不自動啟動故障，

處理辦法：先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。

4、光譜儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。

處理辦法：檢查真空泵及清洗鏡片

5、真空值下降快故障

處理辦法：看真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。